潔凈室

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潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。 復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。　?、艥崈羲淼溃–leanTunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧良壱陨?，可?jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費用。 　　此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。 　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴(kuò)充容易；B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 　?、茲崈艄艿溃–leanTube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。 　?、遣⒀b局部潔凈室（CleanSpot）：將潔凈室等級,~,之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為~級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。 　　潔凈工作臺：等級Class ~級。 　　潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為~級，高度在.米左右，覆蓋面積約m以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。