YAG激光劃片機

一、設備主要技術指標

1.1、激光工作物質(zhì)：Nd³⁺：YAG晶體

1.2、泵浦方式：氪燈泵浦

1.3、激光波長：1064 nm

1.4、激光模式：低階模

1.5、激光輸出最大功率：50 W

1.6、激光調(diào)制方式：聲光調(diào)制

1.7、激光脈沖頻率：200Hz～50kHz連續(xù)可調(diào)

1.8、最大劃片速度：120 mm/s

1.9、劃片線寬：50 um

1.10、劃片厚度：500 um

1.11、加工范圍：320×320 mm

1.12、工作臺重復精度：±10μm

1.13、恒溫冷卻系統(tǒng)溫控精度±0.5℃

1.14、平均正常運行時間（Average）93%

1.15、平均故障間隔時間（MTBF）3600小時

1.16、平均修復時間（MTTR）4小時

1.17、使用電源：380V（或220V）/ 50 Hz / 5kVA